離子鍍膜機(jī)的工作原理是一定真空條件下,通過氣體放電,使工作氣體或膜材部分離化,在氣體離子或蒸發(fā)物質(zhì)的離子的轟擊作用下,把蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片表面形成薄膜。離子鍍膜機(jī)鍍膜的方式有兩種,一種是蒸發(fā)離子鍍,另一種是濺射離子鍍。
羅茨真空泵
蒸發(fā)離子鍍是通過加熱膜材,使之產(chǎn)生金屬蒸汽,然后通過不同方式激勵(lì)蒸汽放電,使之電離沉積成薄膜。濺射離子鍍是通過高能離子去濺射膜材表面產(chǎn)生金屬粒子,然后在氣體放電空間電離成金屬離子,最后在基片上沉積成膜。真空離子鍍膜適合用于沉積硬質(zhì)薄膜,廣泛使用與刀具、耐磨零件等表面。
真空鍍膜材料都有哪些?
在用離子鍍膜機(jī)鍍制薄膜前,是需要根據(jù)用戶要求進(jìn)行一次樣品測(cè)試,下面簡單介紹一下:
1、先和客戶溝通,了解樣品的性能及用途;
2、對(duì)樣品進(jìn)行分析,性能、表面狀態(tài)等;
3、選擇前處理環(huán)節(jié);
4、根據(jù)表面形狀、污染物類型等選擇預(yù)清洗;
5、檢驗(yàn)前處理效果;
6、測(cè)試樣品,若合格,編制工藝流程,正式投入生產(chǎn)。